秉漢有限公司 HANSLINK Co.,Ltd．TEL： 886-937-119181．FAX： 886-36688378．EMAIL：harrison@hanslinkinc.com．地址：新竹縣竹北市嘉政一街46號
電阻式熱蒸鍍系統
1 可進行手動,半自動與自動模式之操作 2 小型化與模組化設計 3 均勻度可達 ≦±5% 4 可依客戶要求進行客製化設計
Boat quantity
1~4
Thickness Uniformity
±5%
Ultimate Pressure
≦ 9E-7 Torr
Heating Mechanism
RT~ 300℃
Control System
PLC / PLC+PC
Optional
1. Ion Source
2. Substrate Bias
3. Plasma cleaning
4. Substrate Heating
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